دانلود پایان نامه بررسی سیستم های نانو الکترومکانیک NEMS

در اواخر ۱۹۵۰ فیزکدانانی به نام ریچارد فاینمن ، با پیشنهاد جایزه ۱۰۰۰ دلاری برای اولین فردی که موفق به ساخت موتور الکتریکی کوچکتر از ۱ اینچ شود ، توجه مردم را به این موضوع جلب کرد .

در کمال حیرت ویلیام مک لیلان با کوشش فراوان و صرف ساعات بسیار خسته کننده ، توانست این کار را با انبرک دستی و یک میکروسکوپ انجام دهد .

موتور مک لیلان در حال حاضر در مؤسسه فن آوری کالفرنیا در معرض نمایش بوده و مدتها است که از چرخیدن بازمانده  است . هدف فاینمن از این کار به حرکت در آوردن چرخ های دانشگاهها وآزمایشگاه و حتی خطوط تولید صنعتی بود . سیستم های میکروالکترومکانیکی (MEMS) که به طور جدی از اواسط دهه ۱۹۸۰ ایجاد گردیدند ، به حدی از رشد و بلوغ  رسیده اند که اکنون فقط در تولید انبوه موتورهای کوچک ، صدها بار کوچکتر از موتور مک لیلان – نسبتاً به مشکل برخورده ایم . در همین راستا در انجمن MEMS  برخی تولیدات واقعاً شگفت انگیز را ارائه داده است .  از پروژکتورهای دیجیتالی  شامل میلیون ها میکروآیینه الکتریکی گرفته تا  میکروحسگرهای حساس  به حرکت که در کیسه  هوای ماشین های به کار رفته است .

دانشمندان و مهندسانی که در زمینه  اتصالات میکروحسگرها  و ابزارهای دیگر  تحقیق می کنند ، با استفاده از آزمایشگاهها و ایده های نو ، گستره جدیدی در این زمینه ایجاد کردند . ابزارهای این دانشمند به مرزهای بسیار دور نیز اعمال می گردد . از اعماق دریا و پوسته ی زمین گرفته تا مناطق دور دست فضا و سیارات دور دست . چنین میکروحسگرهای راه دور با خواصی مانند مقاومت در برابر تغییرات شرایط و نیز هزینه اندکشان اطلاعات فراوانی در مورد محیط پیرامون ما در اختیارمان می گذارند .

MEMS منجر به پیوند میان فرایندهای نیمه هادی و مهندسی مکانیک می گردد در مقیاس بسیار کوچکی در این زمینه طی دهه اخیر رشد چشمگیری داشته است شرکت های زیادی از غول های نیمه هادی تا شرکت های نوکار به سرعت به سوی فعالیت های مفیاس میکرو پیش می روند اما تا به حال در ابعاد زیر میکرومتر توسط MEMS کارهای اندکی انجام گرفته است .در حالی که کارهای اخیر در میکروالکترونیک دارای تولید انبوه با اندازه هایی در حدود ۱۸/. میکرو می باشد در واقع  sematech  ( یک مجمع فکری برای مشاوره شرکتهای نیمه هادی در آمریکا ) که تا سال ۲۰۱۰ کمترین اندازه در چنین ابزاری به ۷۰ نانومتر خواهد رسید . برای دستیابی به این اهداف و پیشرفتهایی که برای جریان اصلی الکترونیک پیش بینی می گردد وقت آن است که انقلابی در زمینه سیستم های نانو الکترومکانیک که از جمله ماشین ها ، حسگرها، کامپیوترها و الکترونیک در مقیاس نانو رخ بدهد چنین تلاش هایی زمینه کار گروه فایمن در calltech و گروه های دیگر در نقاط مختلف جهان در حال انجام است از پتانسیل های این زمینه فراوان می بشد و می تواند در زمینه های متنوعی از پزشکی و بیوتکنولوژی تا مبانی مکانیک کوآنتوم مثمر ثمر باشد.